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气体质量流量计的相关知识
发布时间:2013/7/15 9:45:46

1、什么是气体质量流量计?
        质量流量计,即Mass Flow Meter(缩写为MFM), 是一种精确测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。
2、什么是气体质量流量控制器?
       质量流量控制器, 即Mass Flow Controller(缩写为MFC), 不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
3、气体质量流量计/质量流量控制器的主要优点是什么?
(1)流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。       

        对于多数流量测控系统而言,很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。
        对于普通的流量计,压力及温度的波动将导致较大的误差;对于质量流量计/质量流量控制器,则一般可以忽略不计。



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